主讲人：王水弟教授

主持人：幸新鹏副教授

题   目：神秘的光刻机

时   间：2023年10月24日14：30

地   点：深圳校区理学园东108

      王水弟，清华大学集成电路学院教授，1965年就读于清华大学自动控制系，1970年毕业后留校。长期从事集成电路制造工艺技术的研究和教学。 

      曾获电子工业部科技进步一等奖和国家科委科技进步二等奖各一项。作为第一发明人和共同发明人，共有国内外发明专利14项。2019年被中国老科协聘为“老科学家报告团成员”，获得“2019年中国老科学技术工作者协会奖”的奖状和奖章。现任清华大学老科协科普演讲团团长。

      “光刻机”是集成电路制造过程中最重要、最精密、最昂贵的工艺设备。它所做的工作就是把“掩模版”上的图形转移到硅片上，有些工艺过程类似于早期使用黑白的照相底片制作黑白照片。但是光刻机毕竟是制造集成电路的工艺设备，由于集成电路的制造非常复杂，光刻机也就非常精密。本演讲介绍了光刻机的基本工作原理和我国光刻机的情况。